紫外線中波長在200納米至350納米的光線被稱為深紫外線，被廣泛用于凈水廠、醫院、工廠無塵車間的空氣殺菌、處理甲醛等領域。過去，很多深紫外線光源采用水銀燈，但聯合國去年組織各方簽訂的《水俁公約》規定要大幅限制水銀的使用，所以有必要開發替代光源。

　　深紫外線LED制造成光源就可以用來替代水銀紫外熒光燈燈，但是過去制作深紫外線LED光源要用昂貴的藍寶石做基板，其高昂成本限制了普及程度。立命館大學高級研究員青柳克信等人報告說，可以利用廉價的硅酮取代藍寶石作為基板，可大幅度削減成本。

　　此外，過去的工藝中為了讓電流通過，需要剝離基板上的一部分絕緣層。新方法是在硅酮基板上附著一層氮化鋁作為絕緣體，然后在上面開出多個微孔讓電流通過。這樣做無需剝離絕緣層，大幅縮短了工序，以前需要5天的制作工作可以縮短到1天，而且避免了剝離絕緣層時對LED的損傷，發光效率也得到提高。